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フォトリソグラフィのまとめ
パネルなどの製造に用いられる。
フォトリソグラフィの目次
1.半導体素子の製造
1.1.コート
1.2.プリベーク
1.3.露光
1.4.現像・リンス
1.5.ポストベーク
1.6.パターン成形
1.6.1.エッチング
1.6.2.成膜・リフトオフ
3.印刷版の製造
(出典:Wikipedia)
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